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掃描電鏡作為一種基礎(chǔ)顯微成像工具，因具有超高的放大能力，從而被高校、科研院所、材料研發(fā)和質(zhì)量分析部門廣泛用于研發(fā)、生產(chǎn)過(guò)程。
相比于光學(xué)放大器件，掃描電子顯微鏡使用電子束進(jìn)行成像，放大、分辨能力比光學(xué)顯微鏡有非常大的提升。
圖1 金相樣品光學(xué)顯微鏡圖像 (左) 和掃描電鏡圖像 (右)
Phenom 飛納電鏡開(kāi)發(fā)了*的超景深成像模式。在該模式下，掃描電鏡可以根據(jù)樣品景深進(jìn)行全視野掃描，并自動(dòng)計(jì)算視野所有位置上可以獲得清晰圖像的工作距離，隨后連續(xù)自動(dòng)曝光，終得到理論景深無(wú)限制的掃描電鏡圖像。圖 6 展示了超景深模式開(kāi)啟前和開(kāi)啟后的圖像對(duì)比。
圖6 超景深模式開(kāi)啟前后效果對(duì)比
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