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當談論掃描電鏡品質(zhì)的時候，人們總喜歡將分辨率、放大倍數(shù)等參數(shù)作為評判依據(jù)的*。尤其是在購買新設備時，更是將這兩項參數(shù)視若明珠，不敢稍加怠慢，因此很容易陷入 “參數(shù)黨” 的漩渦而背離了購買電鏡的初衷。

那么不妨回過神兒來仔細想想，大家購買掃描電鏡的實際需求是什么？當然是為了更、更快捷地觀察樣品。

那么如何實現(xiàn)上述的目的呢？

設備與人是使用電鏡過程中的兩大主體，將電鏡的分辨率、放大倍數(shù)等參數(shù)置于考察的*固然無錯，但是更加不能忽略操作人員與電鏡的交互過程，也就是使用與管理體驗，這其中包括了設備對環(huán)境的適應性、易學性、工作效率和性能的穩(wěn)定性等因素。

設想一下，電鏡的操作界面復雜繁瑣，如換樣拍照費時費力，管理維護程序復雜，且電鏡性能衰減嚴重，那么分辨率等出廠參數(shù)也將失去意義。

本篇從電鏡設備性能穩(wěn)定性入手，初步了解其對使用與管理體驗的影響。

掃描電鏡分辨率

如果非要用一個參數(shù)來評價掃描電鏡的性能，那么大部分人會毫不猶豫地選擇 “分辨率” 這個關(guān)鍵詞。

分辨率代表了有效辨別細小目標的能力，掃描電鏡的升級與革新也正是以分辨率為界限的。

如鎢燈絲掃描電鏡的分辨率在 5nm@30kV 級別，硼系燈絲掃描電鏡的分辨率在 ＜3nm@30kV 級別，而場發(fā)射掃描電鏡的分辨率可高達埃米級別，已接近透射電鏡水平。

因此，分辨率基本代表了電鏡的能力級別。隨著科學技術(shù)的發(fā)展，普及型電鏡的分辨率也基本接近峰值，而不同廠家同類型電鏡的出廠分辨率也日趨一致。

那么，如何保證電鏡擁有長期穩(wěn)定的分辨率才是操作人員更應該關(guān)注的性能，也就是掃描電鏡性能的穩(wěn)定性。

電子源

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燈絲（電子槍）是電子源的提供者，也是整臺電鏡重要的部件，燈絲所發(fā)射電子的密度、束斑尺寸、能量分布將決定性影響掃描電鏡的分辨率。

1. 鎢燈絲

鎢燈絲具有結(jié)構(gòu)簡單、束流大、真空要求低、易更換等優(yōu)點，但是由于其束流密度小、信噪比差、化學穩(wěn)定性差、且使用壽命短（80-100h），因此，在使用過程中需要高頻率的更換燈絲，以確保電鏡保持較為穩(wěn)定的分辨率。

2. CeB₆ 燈絲

飛納電鏡采用 CeB₆ 燈絲。CeB₆ 燈絲亮度為 1000A/cm2?sr，是鎢燈絲亮度的 10 倍，因此具有更高的分辨率。CeB₆ 燈絲具有更好的抗干擾能力，工作溫度為 1800K，遠低于鎢燈絲工作溫度（2800K），燈絲揮發(fā)量相對較小，因此使用壽命基本都可達到 1500h，如果再加以規(guī)范管理，使用壽命可進一步延長。

例如，廣西大學材料學院飛納臺式掃描電鏡能譜一體機 Phenom ProX，單根燈絲的使用壽命已經(jīng)達到了 2958h，因此使用 CeB₆ 燈絲可大大減少頻繁更換燈絲的煩惱。

廣西大學材料科學與工程學院于 2014 年購入飛納臺式電鏡 Phenom ProX。在燈絲使用 2958h 后更換了新燈絲，經(jīng)測量，背散射電子（BSD）圖像的分辨率為 11.05nm@15kV，雖然經(jīng)歷了近 5 年的使用，但是分辨率依然可達到 14 年新裝設備的驗收標準（14 nm），并未出現(xiàn)性能衰減的現(xiàn)象。因此，有理由相信飛納電鏡具有優(yōu)異的性能穩(wěn)定性。

分辨率測試結(jié)果

燈絲使用 2700 h 時客戶拍攝的圖像

更換燈絲后的掃描電鏡圖像

燈絲使用計時

電子光路系統(tǒng)

在電子光路系統(tǒng)中，電子槍柵極到陽極區(qū)間是受陰極蒸氣污染較為嚴重的區(qū)域，需要定時對韋氏帽、陽極等進行超聲、拋光清理才能維持電鏡良好的狀態(tài)。如果清理時操作不當或者環(huán)境灰塵較多，還有可能造成光路系統(tǒng)的二次污染，更換燈絲的頻率越高，受污染的概率也會增大，這也是鎢燈絲電鏡性能衰減嚴重的主要原因之一。

隨著使用時間的增加，掃描電鏡的分辨率都有一定程度的下降。得益于飛納電鏡的工業(yè)設計，其分辨率隨使用時間的衰減要比鎢燈絲電鏡緩慢的多。因此，即使鎢燈絲電鏡的初始分辨率略高于飛納電鏡，在之后很長的使用周期內(nèi)，飛納電鏡的分辨率都要更優(yōu)。

飛納電鏡的燈絲采用一體化設計，燈絲到達壽命后將對整個電子槍進行更換（包含全新的韋氏帽和陽極），從而實現(xiàn)了光學系統(tǒng)免維護。

更換燈絲的過程由專業(yè)工程師上門完成，避免客戶在自行清理過程引入污染物，保障了光路系統(tǒng)的清潔狀態(tài)。

CeB₆ 燈絲長壽命的特征，使其無需頻繁更換，避免經(jīng)常將燈絲倉暴露于大氣環(huán)境中，減少污染的可能性；CeB₆ 燈絲高亮度、低色散的特征，使其無需復雜的光路系統(tǒng)，因此受污染的概率降低，這保證了電鏡性能的長期穩(wěn)定。

綜上所述，飛納電鏡采用高亮度、長壽命的 CeB₆ 作為電子源，既可獲得較高分辨率的電子圖像，又避免了頻繁更換燈絲所造成的二次污染，再加之免維護的光路系統(tǒng)，極大程度地保證了電鏡性能的長期穩(wěn)定，即使歷經(jīng)數(shù)載，風采依舊不減當年。